Tiefenmess-
system

Produktbeschreibung

Das Spectruma Tiefenmesssystem, kurz DMS (Depth Measuring System), ist eine spannende Neuentwicklung von Spectruma. Dabei handelt es sich um ein hochentwickeltes Interferometer, das während eines Materialanalyseprozesses kontinuierlich den gesputterten Probenabtrag und die daraus resultierende Tiefe in Echtzeit misst. Das DMS von Spectruma verwendet kohärentes Laserlicht, bei dem die Lichtwellen in einer festen Phasenbeziehung zueinander stehen. Während der Messung wird das Laserlicht auf den Brennfleck der Probe gerichtet und von dort reflektiert. Der Materialabtrag während der Analyse führt zu unterschiedlich langen optischen Wegen und damit zu einer Phasenverschiebung zwischen den Lichtwellen. Diese Phasenverschiebung erzeugt Interferenzeffekte, wenn die Lichtwellen wieder zusammengeführt werden. Der Sensor des Tiefenmesssystems (DMS) detektiert die Intensitätsänderungen und ermittelt so eine präzise Tiefenprofilanalyse in Echtzeit während des Messvorgangs. Das DMS kann einfach in bestehende Analysegeräte integriert oder in neue Geräte eingebaut werden.